扩散泵在半导体制造中起着重要作用。如果泵在过程中出现故障，则价值数百万美元的半导体产品将处于危险之中。状态监视平台可用于帮助连续监视难以到达的泵的状态，以预测问题，进行关键的预测性维护并减少浪费。
真空泵监测目的
*预防真空泵在正常工作时数内（定期保养前），提前老化；
*预防泵浦卡粉，造成机械损坏甚至卡死造成无预警停机；
*培林端油品问题（漏油、劣化），导致泵浦提前损坏；
*运转中良品延长工作时数，拉长定期保养时间，有数据化的降低运转维护成本；
*保养后回厂设备是否有达到保养需求规格，确保委外保养效益。
制程损失：
LPCVD炉管，每次可送入至少50-150片晶圆，设备核心为真空泵浦，抽气维持真空状，当泵浦因卡粉或轴承损坏，会使制程中断，造成整批晶圆产品报废。
LVPVD制程晶圆成本：
12时晶圆：3000 USD/片，一次防御省下：4,500,000~13,500,000 NTD
8时晶圆：500 USD/片，一次防御省下：750,000~2,250,000 NTD
上机测试时间成本与维修成本
真空泵浦送修，整体维修价约50,000~70,000新台币
真空泵，整体维修报价券100,000~120,000新台币
维修无法确定损坏部件有无更换。
真空泵送修回来无法确定设备是稳定，在旁测试7天后，稳定才上机。
现有客户维修后仍未修复完全，防止验收瑕疵比例：1/30
客户利益:
识别早期故障迹象，防止意外故障
获取可靠信息，提高产量，降低维修成本
在维修后返回时提供机器状态验证
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